Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процес...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Учебное пособие |
| Acceso en liña: | https://znanium.com/catalog/document?id=417174 https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|