Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процес...
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Учебное пособие |
| Accesso online: | https://znanium.com/catalog/document?id=417174 https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|