Технология интегральных микросхем Учебное пособие
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Констр...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Учебное пособие |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=434586 https://znanium.com/cover/2100/2100449.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| ISBN: | 978-5-9729-1232-2 |
|---|