Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок Статья

Сохранить в:

Библиографические подробности
Главный автор:	Зайцева Е.
Формат:	Статья
Online-ссылка:	https://znanium.com/catalog/document?id=260493 https://znanium.com/cover/0516/516827.jpg
Метки:	Добавить метку Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!


LEADER	01470nam0a2200265 i 4500
001	RU\infra-m\znanium\bibl\516827
003	https://znanium.com/catalog/document?id=260493
005	20200226000000.0
100			\|a 20200226d2015 m y0rusy0150 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок \|e Статья
210	1		\|a Ижевск \|c ФГБОУ ВПО "Удмуртский Государственный университет" \|d 2012
215			\|a 5 с.
333			\|a Аспирантура
606			\|a Физико-математические науки \|x Физика твердого тела. Кристаллография \|2 local
608			\|a Статья \|2 local
700		1	\|a Зайцева \|b Е.
701		1	\|a Закирова \|b Р.М.
701		1	\|a Крылов \|b П.Н.
701		1	\|a Лебедев \|b К. С. \|g Константин Сергеевич
701		1	\|a Федотова \|b И. \|g Ирина
801		0	\|a RU \|b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» \|c 20150608 \|2 rusmarc
856	4		\|a znanium.com \|m ebs_support@infra-m.ru \|n НИЦ ИНФРА-М \|u https://znanium.com/catalog/document?id=260493
856	4	1	\|a znanium.com \|d /cover/0516 \|f 516827.jpg \|q image/jpeg \|u https://znanium.com/cover/0516/516827.jpg

Схожие документы