Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II Учебное пособие
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Учебное пособие |
| Acceso en liña: | https://znanium.com/catalog/document?id=235022 https://znanium.com/cover/0546/546528.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| ISBN: | 978-5-7782-2534-3 |
|---|