Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II Учебное пособие
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | Учебное пособие |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://znanium.com/catalog/document?id=235022 https://znanium.com/cover/0546/546528.jpg |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| LEADER | 03299nam0a2200301 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\infra-m\znanium\bibl\546528 | ||
| 003 | https://znanium.com/catalog/document?id=235022 | ||
| 005 | 20200605000000.0 | ||
| 010 | |a 978-5-7782-2534-3 | ||
| 100 | |a 20200605d2016 m y0rusy0150 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II |e Учебное пособие |f Новосибирский государственный технический университет | |
| 210 | 1 | |a Новосибирск |c Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) |d 2014 | |
| 215 | |a 227 с. | ||
| 330 | |a Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке технике и технологии. Пособие предназначено для студентов обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем» «Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных материалов» «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных структур». | ||
| 333 | |a Профессиональное образование | ||
| 606 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | ||
| 608 | |a Учебное пособие |2 local | ||
| 675 | |a 621 |z rus | ||
| 686 | |a 312 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 13.03.02 |2 okso | ||
| 686 | |a 13.04.02 |2 okso | ||
| 700 | 1 | |a Величко |b А.А. |g Александр Андреевич |p Новосибирский государственный технический университет | |
| 701 | 1 | |a Филимонова |b Н.И. |g Нина Ивановна | |
| 801 | 0 | |a RU |b Общество с ограниченной ответственностью «ЗНАНИУМ» |c 20160211 |2 rusmarc | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=235022 | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/0546 |f 546528.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/0546/546528.jpg |