Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II Учебное пособие
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке...
Shranjeno v:
Glavni avtor: | |
---|---|
Format: | Учебное пособие |
Online dostop: | https://znanium.com/catalog/document?id=235022 https://znanium.com/cover/0546/546528.jpg |
Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|