Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....

Fuld beskrivelse

Сохранить в:

Bibliografiske detaljer
Главные авторы:	Киреев В. Ю., Столяров А. А.
Format:	Bog
Udgivet:	НБ СевКавГТУ
Tags:	Tilføj Tag Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!

Lignende værker

Химическое осаждение из растворов
af: Вассерман И. М.

Рост алмаза и графита из газовой фазы
af: Дерягин Б. В., и др.

Получение покрытий. Методы физического и химического осаждения из газовой фазы учебное пособие
af: Чернышова О. В.
Udgivet: (2023)

Получение и исследование свойств пластин поликристаллического алмаза, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
af: Алтахов, А. С.
Udgivet: (2018)

Получение и исследование свойств пластин поликристаллического алмаза, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
af: Алтахов, А. С.
Udgivet: (2018)

Ресурсо- и энергосберегающие технологии и аппаратурное оформление процессов, сопровождающихся выделением газовой фазы монография
af: Сафин, Р. Г.

Химическое оборудование из керамики
af: Бабич В. Ф., и др.

Гидрохимическое осаждение тонких пленок халькогенидов металлов практикум

Фазы внедрения
af: Андриевский Р. А., и др.

Основы микроэлектроники
af: Аваев Н. А., и др.

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
af: Васильев В. Ю.
Udgivet: (2024)

Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Основы микроэлектроники
af: Коваленко А. А., и др.

Основы микроэлектроники
af: Игумнов Д. В., и др.

Применение компьютерных технологий в производстве силикатных материалов учебное пособие
af: Киреев, Ю. Н.

Основы микроэлектроники
af: Ефимов И. Е.
Udgivet: (2022)

Основы микроэлектроники
Udgivet: (2021)

Основы микроэлектроники
af: Степаненко И. П.

Основы микроэлектроники
af: Степаненко И. П.

Основы микроэлектроники
af: Ефимов И. Е., и др.

Основы микроэлектроники
af: Степаненко И. П.

Физические основы микроэлектроники
af: Марголин В. И., и др.

Основы полупроводниковой микроэлектроники
af: Левин С., и др.

Химическое сопротивление железобетона
af: Селяев В. П.
Udgivet: (2020)

Физические основы микроэлектроники
af: Стукалова А. С.
Udgivet: (2019)

Основы технологии материалов микроэлектроники Учебно-методическая литература
af: Каменская А.В

Основы технологии материалов микроэлектроники учебно-методическое пособие
af: Каменская, А. В.

Основы микроэлектроники и микропроцессорной техники
af: Смирнов Ю. А.
Udgivet: (2022)

Физические основы конструирования, технологии РЭА и микроэлектроники
af: Штернов А. А.

Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
af: Волков, Д. В.
Udgivet: (2018)

Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
af: Волков, Д. В.
Udgivet: (2018)

Основы микроэлектроники практикум

Физические основы микроэлектроники
af: Епифанов Г. И.

Химическое сопротивление строительных материалов
af: Соломатов В. И., и др.

Основы микроэлектроники и микропроцессорной техники
af: Смирнов Ю. А., и др.

Физические основы микроэлектроники учебник
af: Клюбин, В. В.

Химическое строение и физические свойства полимеров
af: Аскадский А. А., и др.

Наука о развитии
af: Столяров В.

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники
af: Старосельский В. И.

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники
af: Старосельский В. И.