Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....
Kaydedildi:
| Asıl Yazarlar: | , |
|---|---|
| Materyal Türü: | Kitap |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
НБ СевКавГТУ
|
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
