Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....
Sábháilte in:
| Príomhchruthaitheoirí: | , |
|---|---|
| Formáid: | LEABHAR |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
НБ СевКавГТУ
|
| Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|