Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем учебное пособие
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических...
Na minha lista:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|