Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем учебное пособие
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Книга |
| Konular: | |
| Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|