Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая мод...
Gespeichert in:
Format: | Книга |
---|---|
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|