Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая мод...
Збережено в:
Формат: | Книга |
---|---|
Предмети: | |
Онлайн доступ: | Перейти к просмотру издания |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|