Компоненты микросистемной техники учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих...
Tallennettuna:
Päätekijä: | |
---|---|
Aineistotyyppi: | Книга |
Aiheet: | |
Linkit: | Перейти к просмотру издания |
Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
Ulkoasu: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-7731-0799-6 |