Компоненты микросистемной техники учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих...
Spremljeno u:
Glavni autor: | |
---|---|
Format: | Книга |
Teme: | |
Online pristup: | Перейти к просмотру издания |
Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|
Opis: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-7731-0799-6 |