Компоненты микросистемной техники учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Книга |
| Konular: | |
| Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| Fiziksel Özellikler: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-7731-0799-6 |