Компоненты микросистемной техники учебное пособие
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих...
Guardado en:
Autor principal: | |
---|---|
Formato: | Книга |
Materias: | |
Acceso en línea: | Перейти к просмотру издания |
Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|