INVESTIGATION OF POSSIBILITY OF THE MISFIT DISLOCATION DENSITY REDUCTION IN GE/SI FILMS WITH A BUFFER LAYER
В работе исследована возможность улучшения качества гетероэпитаксиальных структур Ge/Si с буферным слоем. Показано, что при использовании подготовительного слоя, состоящего из наноостровков, зарощенных низкотемпературным буферным слоем, возможно проявление так называемого эффекта аннигиляции дислок...
Kaydedildi:
| Asıl Yazarlar: | , , , , , , , |
|---|---|
| Materyal Türü: | Статья |
| Dil: | Russian |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Tver State University
2024
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | https://dspace.ncfu.ru/handle/123456789/29291 |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|