Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
Thin aluminum nitride (AlN) films on sapphire (Al2O3) substrates were grown by means of ion-beam deposition (IBD) and studied by methods of scanning electron microscopy, Raman scattering, and optical transmission spectroscopy. Results revealed the influence of IBD process parameters (gas mixture com...
Zapisane w:
| Główni autorzy: | , , , , , , , |
|---|---|
| Format: | Статья |
| Język: | English |
| Wydane: |
MAIK NAUKA/INTERPERIODICA/SPRINGER
2020
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | http://apps.webofknowledge.com/full_record.do?product=WOS&search_mode=GeneralSearch&qid=17&SID=E1foOAlVMmMF3jxHUZa&page=1&doc=1 https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/11480 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|