THE GROWTH OF INALN/ SI HETEROSTRUCTURES WITH A HIGH CONTENT OF IN
InAlN films on Si (111) were obtained by the ion-beam deposition with various technological growth parameters. The results of the study of grown films by the scanning electron microscopy were used to identify the conditions for obtaining InAlN continuous films. Due to the mismatch of the lattice par...
محفوظ في:
المؤلفون الرئيسيون: | Lapin, V. A., Лапин, В. А., Kasyanov, I. V., Касьянов, И. В. |
---|---|
التنسيق: | Статья |
اللغة: | Russian |
منشور في: |
2023
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/23455 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Features of ion-beam polishing of the surface of sapphire
بواسطة: Sysoev, I. A., وآخرون
منشور في: (2018) -
Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
بواسطة: Devitsky, O. V., وآخرون
منشور في: (2020) -
Influence of thermal annealing on the structure and optical properties of thin aluminum nitride films on sapphire
بواسطة: Devitsky, O. V., وآخرون
منشور في: (2021) -
Investigation of GexSi1 –x/Si nanoheterostructures grown by ion-beam deposition
بواسطة: Sysoev, I. A., وآخرون
منشور في: (2019) -
Pulsed magnetron sputtering and ion-induced annealing of carbon films
بواسطة: Shevchenko, E. F., وآخرون
منشور في: (2018)