Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | , , , |
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Kieli: | Russian |
| Julkaistu: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Linkit: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
