Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|