Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
में बचाया:
मुख्य लेखक: | |
---|---|
अन्य लेखक: | , , , |
स्वरूप: | Книга |
भाषा: | Russian |
प्रकाशित: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
ऑनलाइन पहुंच: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|