Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Na minha lista:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Outros Autores: | , , , |
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado em: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Acesso em linha: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|