Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|