Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | , , , |
| Materialtyp: | Книга |
| Språk: | Russian |
| Publicerad: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Länkar: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|