Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Diğer Yazarlar: | , , , |
| Materyal Türü: | Книга |
| Dil: | Russian |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Online Erişim: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|