Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Guardat en:
Autor principal: | |
---|---|
Altres autors: | |
Format: | Книга |
Idioma: | Russian |
Publicat: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
Accés en línia: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|