Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Tallennettuna:
Päätekijä: | |
---|---|
Muut tekijät: | |
Aineistotyyppi: | Книга |
Kieli: | Russian |
Julkaistu: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
Linkit: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|