Salta al contenuto

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум

Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...

Descrizione completa

Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Autore principale: Ершов А. В.
Altri autori: Нежданов А. В.
Natura: Книга
Lingua:Russian
Pubblicazione: Нижний Новгород ННГУ им. Н. И. Лобачевского 2020
Accesso online:https://e.lanbook.com/book/144919
https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg
Tags: Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !