Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | |
| Materialtyp: | Книга |
| Språk: | Russian |
| Publicerad: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
| Länkar: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|