Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии учебно-методическое пособие
Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Outros autores: | |
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2011
|
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/153530 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|