Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | Книга |
| اللغة: | Russian |
| منشور في: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| الطبعة: | 2-е изд., стер. |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|