Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | |
|---|---|
| Fformat: | Книга |
| Iaith: | Russian |
| Cyhoeddwyd: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Rhifyn: | 2-е изд., стер. |
| Pynciau: | |
| Mynediad Ar-lein: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|