Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sprog: | Russian |
| Udgivet: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Udgivelse: | 2-е изд., стер. |
| Fag: | |
| Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|