Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Ausgabe: | 2-е изд., стер. |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|