Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Gorde:
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Formatua: | Книга |
| Hizkuntza: | Russian |
| Argitaratua: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Edizioa: | 2-е изд., стер. |
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|