Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Kieli: | Russian |
| Julkaistu: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Painos: | 2-е изд., стер. |
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|