Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Langue: | Russian |
| Publié: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Édition: | 2-е изд., стер. |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|