Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Sábháilte in:
| Príomhchruthaitheoir: | |
|---|---|
| Formáid: | Книга |
| Teanga: | Russian |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Eagrán: | 2-е изд., стер. |
| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|