Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Edición: | 2-е изд., стер. |
| Темы: | |
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|