Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | Книга |
| שפה: | Russian |
| יצא לאור: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| מהדורה: | 2-е изд., стер. |
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|