Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
में बचाया:
| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | Книга |
| भाषा: | Russian |
| प्रकाशित: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| संस्करण: | 2-е изд., стер. |
| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|