Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Spremljeno u:
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Jezik: | Russian |
| Izdano: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Izdanje: | 2-е изд., стер. |
| Teme: | |
| Online pristup: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|