Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Книга |
| Լեզու: | Russian |
| Հրապարակվել է: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Հրատարակություն: | 2-е изд., стер. |
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|