Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Книга |
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Edizione: | 2-е изд., стер. |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|