Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Zapisane w:
| 1. autor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Język: | Russian |
| Wydane: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Wydanie: | 2-е изд., стер. |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|