Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Na minha lista:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado em: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Edição: | 2-е изд., стер. |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|