Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Книга |
| Språk: | Russian |
| Publicerad: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Upplaga: | 2-е изд., стер. |
| Ämnen: | |
| Länkar: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|